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除胶渣&化学沉铜 |
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化学沉铜
化学沉铜系列是具备高稳定性、沉积速度快的薄铜系统，能形成高密度且细致的铜沉积于孔内。
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序号 |
流程 |
操作条件 |
控制范围 |
过滤 |
搅拌 |
加热 |
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1 |
CF1017整孔剂 |
温度50-70℃
时间 4-6min |
浓度0.08-0.12N |
需要 |
机械搅拌 |
不锈钢或石英 |
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2 |
水洗×2 |
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3 |
微蚀 |
常温 1-2min |
微蚀量大于30u |
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4 |
水洗×2 |
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5 |
酸洗 |
常温 1-2min |
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6 |
水洗×2 |
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7 |
CF3023预浸剂 |
常温
(18-30℃) 1min |
比重1.116-1.142
酸当量0.5-0.7N |
需要 |
机械搅拌 |
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8 |
CF3316活化剂 |
温度30-40℃
时间3-6min |
比重1.116-1.142
酸度0.7-0.9N
3316浓度 80-100% |
需要 |
摆动 |
石英或铁氟龙 |
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9 |
水洗×2 |
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10 |
CF4044加速剂 |
温度20-30℃
时间3-6min |
当量控制
0.7-1.0N |
需要 |
摆动 |
石英或铁氟龙 |
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11 |
水洗×2 |
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12 |
CF406M
CF406A
CF406B |
温度20-30℃
时间10-15min |
Cu2+ 1.5-2.0g/L
NaOH 10-12g/L
HCHO 4.0-8.0 |
需要 |
空气搅拌 |
石英 |
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13 |
水洗×2 |
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